作為精密的檢測儀器，三坐標測量儀的測量方向為XYZ軸（橫縱高三個方向），二次元的測量方向為X/Y軸（橫縱向），通常而言三坐標測量儀是氣動設備、其精度會比二次元高一些（二次元也有氣動的,但價格高很多），其價格、重量方面也高于二次元，普通的機械導軌二次元價格大概在三到五萬左右,氣動的大概在20萬左右,三坐標測量儀的話要更貴。三坐標測量儀在很多范圍都有應用，同時也可以測量工件的許多參數。

三坐標測量儀

三坐標測量儀由標尺系統和測頭系統構成，它們是三坐標測量儀的關鍵組成部分，決定著CMM測量精度的高低。是集光、機、電、計算機及控制技術于一身的復雜的測量系統，因此影響其測量結果不確定的因素較多，但對于中、小型坐標來說，環境溫度偏離標準測量溫度（20℃）是影響其測量結果不確定度的主要因素。為了使三坐標能夠測出準確的結果，應將環境溫度嚴格地控制在坐標機說明書要求的范圍內。

在三坐標測量儀的高精密測量中，微小的熱量也會影響精度的穩定性，而當出氣孔的孔徑小于一定的直徑的時候，卻會相反的會在出氣孔的周圍形成冷凝效應，正是利用這一物理學原理，三坐標測量儀采用歐潼小孔出氣的技術，使得冷凝效應恰恰抵消測量中因為空氣摩擦產生的微弱熱量，使得設備保持長時間的溫度穩定性。測量機的采點發訊裝置是測頭，在沿X，Y，Z三個軸的方向裝有光柵尺和讀數頭。其測量過程就是當測頭接觸工件并發出采點信號時，由控制系統去采集當前機床三軸坐標相對于機床原點的坐標值，再由計算機系統對數據進行處理。